Kondisioner Sistemi üçün İkincil Geri Dönüş Havası sxemi

Nisbətən kiçik təmiz otaq sahəsi və məhdud geri dönən hava kanalı radiusuna malik mikro-elektron emalatxanada kondisioner sisteminin ikinci dərəcəli geri hava sxemini qəbul etmək üçün istifadə edilmişdir. Bu sxem də tez-tez istifadə olunurtəmiz otaqlarəczaçılıq və tibbi xidmət kimi digər sənayelərdə. Təmiz otaq temperaturu rütubətinin tələblərinə cavab verən ventilyasiya həcmi ümumiyyətlə təmizlik səviyyəsinə çatmaq üçün tələb olunan ventilyasiya həcmindən çox az olduğundan, tədarük havası ilə geri dönən hava arasındakı temperatur fərqi kiçikdir. İlkin geri dönən hava sxemindən istifadə edilərsə, tədarük havası vəziyyəti nöqtəsi ilə kondisioner qurğusunun şeh nöqtəsi arasındakı temperatur fərqi böyükdür, ikincil isitmə tələb olunur, nəticədə havanın təmizlənməsi prosesində soyuq istiliyin əvəzlənməsi və daha çox enerji sərfiyyatı baş verir. . İkinci qaytarma havası sxemindən istifadə edilərsə, ikincil geri dönmə havası birincil geri dönən hava sxeminin ikincil isidilməsini əvəz etmək üçün istifadə edilə bilər. İlkin və ikincil geri dönən hava nisbətinin tənzimlənməsi ikincil istiliyin tənzimlənməsindən bir qədər az həssas olsa da, ikincil qaytarma havası sxemi kiçik və orta ölçülü mikro-elektron təmiz emalatxanalarında kondisioner enerjisinə qənaət tədbiri kimi geniş şəkildə tanınıb. .

Nümunə olaraq ISO sinif 6 mikroelektronika təmiz emalatxanasını götürək, təmiz emalatxana sahəsi 1000 m2, tavan hündürlüyü 3 m. Daxili dizayn parametrləri temperatur tn= (23±1) ℃, nisbi rütubət φn=50%±5%; Layihələndirilmiş hava tədarükü həcmi 171 000 m3/saat, təxminən 57 saat-1 hava mübadiləsi vaxtı, təmiz havanın həcmi isə 25 500 m3/saatdır (onlardan prosesdən çıxan havanın həcmi 21 000 m3/saat, qalan hissəsi isə müsbət təzyiq sızması hava həcmi). Təmiz sexdə həssas istilik yükü 258 kVt (258 Vt/m2), kondisionerin istilik/rütubət nisbəti ε=35 000 kJ/kq, otağın geri dönən havasının temperatur fərqi isə 4,5 ℃ təşkil edir. Bu zaman ilkin dönüş hava həcmi
Hal-hazırda mikroelektronika sənayesində təmiz otaqda kondisioner sisteminin təmizlənməsinin ən çox istifadə edilən formasıdır, bu tip sistem əsasən üç növə bölünə bilər: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Quru rulon) +FFU. Hər birinin öz üstünlükləri və mənfi cəhətləri və uyğun yerləri var, enerjiyə qənaət effekti əsasən filtr və fan və digər avadanlıqların işindən asılıdır.

1) AHU+FFU sistemi.

Bu tip sistem rejimi mikroelektronika sənayesində “kondisioner və təmizləmə fazasının ayrılması yolu” kimi istifadə olunur. İki vəziyyət ola bilər: biri odur ki, kondisioner sistemi yalnız təmiz hava ilə məşğul olur və təmizlənmiş təmiz hava təmiz otağın bütün istilik və rütubət yükünü daşıyır və işlənmiş havanı və müsbət təzyiq sızmasını balanslaşdırmaq üçün əlavə hava rolunu oynayır. təmiz otaqdan bu sistemə MAU+FFU sistemi də deyilir; Digəri, təmiz havanın həcminin tək başına təmiz otağın soyuq və istilik yükü ehtiyaclarını ödəmək üçün kifayət etməməsi və ya təmiz havanın xarici vəziyyətdən şeh nöqtəsinə qədər işlənməsi tələb olunan maşının xüsusi entalpiya fərqinin çox böyük olmasıdır. , və daxili havanın bir hissəsi (qaytarılan havaya bərabərdir) kondisionerin təmizlənməsi bölməsinə qaytarılır, istilik və rütubətin müalicəsi üçün təmiz hava ilə qarışdırılır və sonra hava təchizatı plenumuna göndərilir. Qalan təmiz otağa qaytarılan hava ilə qarışdırılır (ikinci dərəcəli qaytarma havasına bərabərdir), FFU bölməsinə daxil olur və sonra onu təmiz otağa göndərir. 1992-ci ildən 1994-cü ilə qədər bu məqalənin ikinci müəllifi Sinqapur şirkəti ilə əməkdaşlıq etmiş və 10-dan çox aspirantı ABŞ-Honkonq birgə müəssisəsi olan SAE Electronics Factory-nin dizaynında iştirak etmək üçün rəhbərlik etmişdir. ventilyasiya sistemi. Layihədə təxminən 6000 m2 (1500 m2 Yaponiya Atmosfer Agentliyi tərəfindən müqavilə bağlanmışdır) sahəsi olan ISO 5-ci sinif təmiz otağı var. Kondisioner otağı təmiz otaq tərəfinə paralel olaraq xarici divar boyunca və yalnız dəhlizə bitişikdir. Təmiz hava, egzoz havası və geri dönən hava boruları qısadır və rəvan düzülür.

2) MAU+AHU+FFU sxemi.

Bu həll adətən çoxlu temperatur və rütubət tələbləri və istilik və rütubət yükündə böyük fərqlər olan mikroelektronika zavodlarında tapılır və təmizlik səviyyəsi də yüksəkdir. Yaz aylarında təmiz hava sabit parametr nöqtəsinə qədər soyudulur və nəmləndirilir. Təmiz havanın izometrik entalpiya xəttinin kəsişmə nöqtəsi ilə 95% nisbi rütubət xəttinin temperaturu və rütubətini təmsil edən təmiz otağın və ya ən böyük təmiz hava həcmi olan təmiz otağın təmizlənməsi adətən uyğundur. MAU-nun hava həcmi hər bir təmiz otağın havanı doldurmaq üçün tələbatına uyğun olaraq müəyyən edilir və tələb olunan təmiz hava həcminə uyğun olaraq borularla hər təmiz otağın AHU-ya paylanır və istilik üçün bir qədər daxili geri hava ilə qarışdırılır. və rütubət müalicəsi. Bu bölmə xidmət etdiyi təmiz otağın bütün istilik və rütubət yükünü və yeni revmatizm yükünün bir hissəsini daşıyır. Hər bir AHU tərəfindən təmizlənmiş hava hər bir təmiz otaqda tədarük havası plenumuna göndərilir və daxili qaytarma havası ilə ikinci dəfə qarışdırıldıqdan sonra FFU bölməsi tərəfindən otağa göndərilir.

MAU+AHU+FFU məhlulunun əsas üstünlüyü ondan ibarətdir ki, o, təmizliyi və müsbət təzyiqi təmin etməklə yanaşı, hər bir təmiz otaq prosesinin istehsalı üçün tələb olunan müxtəlif temperatur və nisbi rütubəti də təmin edir. Bununla belə, tez-tez qurulan AHU sayına görə otağın sahəsi böyükdür, təmiz otağın təmiz havası, qayıdan havası, hava təchizatı boru kəmərləri çarpazlaşır, böyük yer tutur, plan daha çətin olur, texniki xidmət və idarəetmə daha çətin olur. və mürəkkəb, buna görə də istifadənin qarşısını almaq üçün mümkün qədər xüsusi tələblər yoxdur.