Yarımkeçirici (FAB) təmiz otaqda nisbi rütubətin hədəf dəyəri

Yarımkeçirici (FAB) təmiz otaqda nisbi rütubətin hədəf dəyəri təqribən 30-50% təşkil edir ki, bu da litoqrafiya zonasında olduğu kimi ±1% və ya uzaq ultrabənövşəyi emalda (DUV) daha az xəta marjasına imkan verir. zona – başqa yerlərdə isə ±5%-ə qədər rahatlaşdırıla bilər.
Çünki nisbi rütubət təmiz otaqların ümumi işini azalda bilən bir sıra amillərə malikdir, o cümlədən:
1. Bakterial artım;
2. İşçilər üçün otaq temperaturu komfort diapazonu;
3. Elektrostatik yük görünür;
4. Metal korroziyası;
5. Su buxarının kondensasiyası;
6. Litoqrafiyanın deqradasiyası;
7. Suyun udulması.

Bakteriyalar və digər bioloji çirkləndiricilər (kiflər, viruslar, göbələklər, gənələr) nisbi rütubətin 60%-dən çox olduğu mühitlərdə inkişaf edə bilər. Bəzi bakteriya icmaları 30%-dən çox nisbi rütubətdə inkişaf edə bilər. Şirkət hesab edir ki, rütubət 40% -dən 60% aralığında nəzarət edilməlidir ki, bu da bakteriyaların və tənəffüs yoluxucu infeksiyaların təsirini minimuma endirə bilər.

40%-dən 60%-ə qədər olan nisbi rütubət də insan rahatlığı üçün orta səviyyədir. Həddindən artıq rütubət insanlarda havasızlıq hissi yarada bilər, 30% -dən aşağı rütubət isə insanlarda quru, çatlamış dəri, tənəffüs narahatlığı və emosional bədbəxtlik hiss edə bilər.

Yüksək rütubət əslində təmiz otağın səthində elektrostatik yüklərin yığılmasını azaldır - arzu olunan nəticə. Aşağı rütubət yükün yığılması və potensial zədələyici elektrostatik boşalma mənbəyi üçün idealdır. Nisbi rütubət 50% -dən çox olduqda, elektrostatik yüklər sürətlə dağılmağa başlayır, lakin nisbi rütubət 30% -dən az olduqda, izolyatorda və ya əsassız səthdə uzun müddət qala bilər.

35% və 40% arasında nisbi rütubət qənaətbəxş bir kompromis kimi istifadə edilə bilər və yarımkeçirici təmiz otaqlar ümumiyyətlə elektrostatik yüklərin yığılmasını məhdudlaşdırmaq üçün əlavə nəzarətdən istifadə edirlər.

Nisbi rütubətin artması ilə bir çox kimyəvi reaksiyaların, o cümlədən korroziya proseslərinin sürəti artacaq. Təmiz otaq ətrafındakı havaya məruz qalan bütün səthlər tezdir.